簡要描述:SuperViewW1三維輪廓測量儀器以白光干涉技術(shù)為原理,采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。
產(chǎn)品分類
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
SuperViewW1三維輪廓測量儀器以白光干涉技術(shù)為原理,采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。是一款專用于超精密加工領(lǐng)域的光學(xué)檢測儀器,其分辨率可達(dá)0.1nm。
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動(dòng)
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調(diào)整:±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取
1. 點(diǎn)擊XY復(fù)位,使得鏡頭復(fù)位到載物臺中心
2. 將被測物放置在載物臺夾具上,被測物中心大致和載物臺中心重合;
3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件;
4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度,找到干涉條紋;
5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍;
6.點(diǎn)擊選項(xiàng)圖標(biāo),確認(rèn)自動(dòng)找條紋上下限無誤;
7.點(diǎn)擊多區(qū)域測量圖標(biāo),可選擇方形和(橢)圓形兩種測量區(qū)域形狀;
8.根據(jù)被測物形狀和尺寸,"形狀"欄選擇“橢圓平面",X和Y方向按需設(shè)置;
9.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開始"圖標(biāo),儀器即自動(dòng)完成多個(gè)區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。
在軍事領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度;
在集成電路行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在3C領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;
在EMES行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度;
在光纖通信行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;
在LED行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度。
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