簡要描述:SuperViewW1白光干涉測量儀在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護(hù),守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。
詳細(xì)介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
白光干涉儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、面形輪廓、腐蝕情況、波紋度、平面度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、磨損情況、表面缺陷、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉測量儀在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時,觸發(fā)感應(yīng)器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開關(guān),不再響應(yīng)向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護(hù),守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。
大多數(shù)的場景中,只需檢測一個數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域,但在少數(shù)需要檢測超精密器件表面全貌的場景中,SuperViewW1白光干涉測量儀的自動拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量,還支持自動聚焦功能,只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面(小于鏡頭工作距離),選擇好聚焦范圍,即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取
一是非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;
二是測量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量;
三是不必作探頭半徑補(bǔ)正,光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置;
四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果。
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