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SuperViewW1輪廓表面測量儀可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

中圖儀器SuperViewW1非接觸式光學輪廓儀器以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

SuperViewW1三維輪廓測量儀器以白光干涉技術為原理，采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

中圖儀器3d光學檢測輪廓儀可測量程范圍內的三維尺寸，不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數。

中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀設備載物臺（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運動精度可達數納米，線性精度可達亞納米級別。

中圖儀器3d形貌輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級數據處理與分析的光學測量儀器。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。