SJ6000激光干涉儀測量系統可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測,也具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;支持手動或自動進行環境補償。
SJ6000機床精密測量激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,是一款高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領域應用廣泛。
SJ6000高精度測量激光干涉儀為機床機定位誤差(螺距補償)、反向間隙修正提供依據。操作人員通過每個機床軸的補償值來消除機床定位系統中的定位誤差。后期通過對機床軸的補償,可以將誤差降低到幾乎為零的程度,大大提高機床作業精度。
SJ6000光學干涉儀對機床運動導軌和滾珠絲桿的各項參數檢測分析、校準補償的重要性,而機床在裝配、加工、生產的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀,來進行多種幾何量精度參數的測量以及動態性能的測試、分析。從宏觀角度來講,激光干涉儀對機床工具產業乃至整個制造工業的升級,都是功不可沒的。
SJ6000國產激光干涉儀品牌是一個交流測試系統,當激光光束強度受環境影響發生變化時,其頻率不會受光強變化影響發生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。
SJ6000激光光學干涉儀是一個交流測試系統,當激光光束強度受環境影響發生變化時,其頻率不會受光強變化影響發生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。
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