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VT6000材料3D測量共聚焦顯微鏡是基于光學共軛共焦原理，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000共聚焦三維光學輪廓顯微鏡是基于光學共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析。

VT6000三維形貌共聚焦材料測量顯微鏡單區(qū)域、多區(qū)域、拼接、自動測量等多種測量模式可選擇，適應(yīng)多種現(xiàn)場應(yīng)用環(huán)境；Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能，雙重保護。

有圖晶圓共聚焦高精度測量顯微鏡橫向分辨率高，所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000材料共聚焦3D測量顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000超分辨率轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密縱向掃描等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，是實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。