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SuperViewW光學(xué)非接觸式粗糙度3D輪廓儀采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法，具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

中圖儀器SuperViewW系列0.1nm分辨率白光干涉光學(xué)輪廓儀能以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。

中圖儀器SuperViewW光學(xué)3D輪廓儀粗糙度在線檢測(cè)設(shè)備基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW廣東光學(xué)3D輪廓儀表面粗糙度檢測(cè)儀器基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

中圖儀器SuperViewW多模式三維光學(xué)輪廓儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能和自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器SuperViewW3d高倍光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。