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中圖儀器3d光學(xué)檢測輪廓儀可測量程范圍內(nèi)的三維尺寸，不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺(tái)階高、微觀幾何輪廓等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備載物臺(tái)（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)數(shù)納米，線性精度可達(dá)亞納米級(jí)別。

W1光學(xué)輪廓儀是通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

3d光學(xué)輪廓測量儀可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀器廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓測量儀對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行高品質(zhì)監(jiān)控時(shí)不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，而且采用的是非接觸式光學(xué)測量，在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí)，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對(duì)表面缺陷檢測亦如此。