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國產(chǎn)白光干涉光學輪廓儀系統(tǒng)

簡要描述:SuperViewW國產(chǎn)白光干涉光學輪廓儀系統(tǒng)基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。復合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。

  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-08-12
  • 訪  問  量:655

詳細介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制

中圖儀器SuperViewW國產(chǎn)白光干涉光學輪廓儀系統(tǒng)基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等等);

幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和體積,特征圖形的位置和數(shù)量等等)。

國產(chǎn)白光干涉光學輪廓儀系統(tǒng)

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,SuperViewW國產(chǎn)白光干涉光學輪廓儀系統(tǒng)的復合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。

國產(chǎn)白光干涉光學輪廓儀系統(tǒng)

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力:單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量;

2)單區(qū)域自動測量:單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能;

3)多區(qū)域自動測量:可設置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位,一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能;

4)自動拼接測量;支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,配合影像導航功能,可自定義測量區(qū)域,支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量;

5)編程測量功能:支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,可預先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,結合自動單測量功能,實現(xiàn)一鍵測量;

6)數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

7)數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析;

9)數(shù)據(jù)報表導出:支持word、excel、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導出功能,支持圖像、數(shù)值結果的導出;

10)故障排查功能:配置診斷模塊,可保存掃描過程中的干涉條紋圖像;

11)便捷操作功能:設備配備操縱桿,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節(jié)、光源亮度調節(jié)、急停等;

12)環(huán)境噪聲評價:具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,為設備調試和故障排查提供定量依據(jù);

13)氣浮隔振功能:采用氣浮式隔振底座,可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼暎_保測量數(shù)據(jù)的高精度;

14)光源安全功能:光源設置無人值守下的自動熄燈功能,當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;

15)鏡頭安全功能:雙重防撞保護,軟件ZSTOP防撞保護,設置后即以當前位置為位移下限位,不再下移且伴有報警聲;設備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風險。


應用領域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

國產(chǎn)白光干涉光學輪廓儀系統(tǒng)


部分技術指標

型號

W1

光源白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場0.98×0.98㎜(10×)


XY位移平臺

尺寸
320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式手動和電動兼容型
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
臺階測量
可測樣品反射率0.05%~100
主機尺寸700×600×900㎜
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關內容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

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