中圖儀器機(jī)床激光干涉儀sj6000采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在機(jī)床激光干涉儀sj6000動態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

功能特點(diǎn)

1、精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2、功能廣

（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

3、軟件強(qiáng)

（1）友好的人機(jī)界面；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

4、標(biāo)準(zhǔn)多

內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

激光干涉儀對機(jī)床精度再校準(zhǔn)

任何機(jī)床加工設(shè)備，在長時間的使用都會由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。一般出現(xiàn)這種情況時，就需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)，SJ6000激光干涉儀可同時測量出機(jī)床的螺距誤差值和反向間隙（又稱背隙），通過精度再校準(zhǔn)，加工精度會大大提高。

激光干涉儀在機(jī)床維修后的重新測量和補(bǔ)償

當(dāng)機(jī)床大修過后，裝配上的精度和位置都有變化，此時就需要再重新進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償。

在安裝絲桿中，絲桿鎖緊螺母擰得很緊，絲桿預(yù)拉過大，絲桿將被拉長，螺距變長，這在起點(diǎn)處影響較小，但在接近終點(diǎn)處因螺距積累誤差，將會產(chǎn)生較大的位置誤差。同樣預(yù)拉過小，也會發(fā)生螺距變小。

在裝絲桿軸承座時，一定要將錐銷敲到位，否則絲桿整體與導(dǎo)軌不平行，螺距變小，此時就可以通過SJ6000激光干涉儀來測量，進(jìn)行正確的螺距誤差補(bǔ)償，使設(shè)備精度達(dá)到要求。

激光干涉儀對機(jī)床定期檢測、補(bǔ)償

隨著數(shù)控機(jī)床的不斷使用，機(jī)床不斷產(chǎn)生磨損，精度就會產(chǎn)生變化，此時就需要對機(jī)床進(jìn)行一個定期的維護(hù)保養(yǎng)，延長機(jī)床使用壽命。首先維護(hù)保養(yǎng)機(jī)床的幾何精度，其次是定位精度，這時候就需要激光干涉儀進(jìn)行檢測補(bǔ)償。

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

直線度測量范圍：±3mm

垂直度測量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

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