簡要描述:中圖SJ6000工業(yè)激光干涉儀品牌具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點,在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數(shù)控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。
詳細介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
中圖SJ6000工業(yè)激光干涉儀品牌具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點,在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數(shù)控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。
主機 | 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動態(tài)采集頻率 | 50 kHz | |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ | |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ | |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH | |
環(huán)境補償單元 | 空氣溫度傳感器 | ±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃ |
材料溫度傳感器 | ±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃ | |
空氣濕度傳感器 | ±6%RH (0~95)%RH | |
大氣壓力傳感器 | ±0.1kPa (65~115)kPa | |
線性測量 | 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ | |
測量分辨力 | 1nm | |
測量速度 | 4m/s |
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。
線性鏡組可以針對不同方向的運動軸而搭建相應的測量光路。
垂直軸的線性測量示意圖
水平軸的線性測量示意圖
SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表,該表涵蓋了各個測量點的補償值,運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,精確的補償,可以有效地降低運動軸的位置誤差。
線性測量中目標位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標采集和基于時間的目標采集兩種方式,普遍采用基于位置的目標采集方式,即:被測運動軸需設定若干個等距的定位點,當運動軸移動到設定的定位點時,需設置停留時間,以供SJ6000測量軟件進行當前點的數(shù)據(jù)采集。
SJ6000工業(yè)激光干涉儀品牌廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。
導軌的直線度測量
SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準;
(4)可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等;
(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。
對機床精度再校準
導軌直線度檢測
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