簡要描述:SJ6000便攜式激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于工程和科研領(lǐng)域。在工程領(lǐng)域,它可以用于測量材料變形、振動、熱膨脹等力學(xué)特性;在科研領(lǐng)域,可以用于光學(xué)元件表面形貌、復(fù)雜形狀的物體三維形貌和運(yùn)動學(xué)研究等。
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
SJ6000便攜式激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于工程和科研領(lǐng)域。在工程領(lǐng)域,它可以用于測量材料變形、振動、熱膨脹等力學(xué)特性;在科研領(lǐng)域,可以用于光學(xué)元件表面形貌、復(fù)雜形狀的物體三維形貌和運(yùn)動學(xué)研究等。采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器,采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器,在計量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。
(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
(6)支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。
SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表,該表涵蓋了各個測量點(diǎn)的補(bǔ)償值,運(yùn)動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動軸的位置誤差,精確的補(bǔ)償,可以有效地降低運(yùn)動軸的位置誤差。
線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時間的目標(biāo)采集兩種方式,普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式,即:被測運(yùn)動軸需設(shè)定若干個等距的定位點(diǎn),當(dāng)運(yùn)動軸移動到設(shè)定的定位點(diǎn)時,需設(shè)置停留時間,以供SJ6000測量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。
SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。
SJ6000便攜式激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
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