簡(jiǎn)要描述:CHOTEST中圖激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器,采用邁克爾遜干涉原理的測(cè)量?jī)x器。具有測(cè)量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測(cè)量、自動(dòng)化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
CHOTEST中圖激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器,采用邁克爾遜干涉原理的測(cè)量?jī)x器。具有測(cè)量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測(cè)量、自動(dòng)化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。
CHOTEST中圖激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
1.精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
2.功能廣
可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;
可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測(cè)量;
可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);
可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
3.軟件強(qiáng)
友好的人機(jī)界面;
豐富的應(yīng)用功能模塊;
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簡(jiǎn)潔化的記錄管理;
支持中文、英文和俄文界面;
支持企業(yè)專屬模板定制。
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲(chǔ)溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測(cè)量距離 | (0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件) |
線性測(cè)量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測(cè)量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
▲主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
如機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量(數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等),SJ6000激光干涉儀垂直度測(cè)量是通過(guò)比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度,即在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測(cè)量。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較,得出兩個(gè)軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸,在兩次測(cè)量過(guò)程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整,光學(xué)直角尺測(cè)量中,允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直,而不動(dòng)直線度反射鏡。
典型情況下對(duì)于1.5米長(zhǎng)的機(jī)器軸,像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇,因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn),如直角尺(金屬或大理石等)的長(zhǎng)度一般局限于1米的范圍內(nèi)。
SJ6000激光干涉儀易操作,方便攜帶,外形小巧美觀方便攜帶,一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個(gè)類似于行李箱的工具箱中,整體加起來(lái)的重量在18kg左右,再加上一個(gè)可以自由伸縮調(diào)整高度的三腳架(裝在無(wú)紡編織袋中),即刻擁有了一套隨時(shí)隨地可用于機(jī)械測(cè)量的解決方案!激光干涉儀與環(huán)境補(bǔ)償器都有端口和計(jì)算機(jī)USB接口相連,實(shí)時(shí)傳遞檢測(cè)數(shù)據(jù),供計(jì)算機(jī)檢定軟件測(cè)算,檢定過(guò)程輕松易掌握,沒(méi)有復(fù)雜的程序設(shè)定。
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