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SJ6000高精度激光干涉儀

簡要描述:SJ6000高精度激光干涉儀除了環境適應能力好,還可以進行動態高速測量,選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;支持手動或自動進行環境補償。

  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-08-10
  • 訪  問  量:730

詳細介紹

品牌中圖儀器產地國產
加工定制

SJ6000高精度激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。

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SJ6000高精度激光干涉儀除了環境適應能力好,還可以進行動態高速測量,選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。


功能廣

可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

可實現龍門機床雙軸同步測量;

可實現對機床回轉軸的測量與校準;

可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

支持手動或自動進行環境補償。

對機床精度再校準.jpg

對機床精度再校準

導軌直線度檢測.jpg

導軌直線度檢測


技術規格

穩頻精度0.05ppm
動態采集頻率50 kHz
預熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″




軟件強

友好的人機界面;

豐富的應用功能模塊;

向導式的操作流程;

簡潔化的記錄管理;

支持中文、英文和俄文界面;

支持企業專屬模板定制。


EC20環境補償單元

中圖儀器SJ6000激光干涉儀配備的EC20環境補償單元,由環境補償主機(內置濕度傳感器和氣壓傳感器)、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成,可實現對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。


EC20環境補償單元.png

EC20環境補償單元


EC20環境補償單元在出廠前,會依照相關計量標準對各環境參量進行精確校準,通常情況下建議24個月校準一次。在使用EC20環境補償單元過程中,在不影響測量光路和被測物體運動的前提下,建議將環境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。


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