簡(jiǎn)要描述:中圖儀器VT6000系列3D激光測(cè)量共聚焦顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
中圖儀器VT6000系列3D激光測(cè)量共聚焦顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
如共聚焦顯微鏡能應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝,能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進(jìn)行非接觸式掃描并重建三維形貌。共聚焦顯微鏡具有高光學(xué)分辨率,通過(guò)清晰的成像系統(tǒng)能夠細(xì)致觀察到晶圓表面的特征情況,例如:觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。電動(dòng)塔臺(tái)可以自動(dòng)切換不同的物鏡倍率,軟件自動(dòng)捕捉特征邊緣進(jìn)行二維尺寸快速測(cè)量,從而更加有效的對(duì)晶圓表面進(jìn)行檢測(cè)和質(zhì)量控制。
在對(duì)晶圓進(jìn)行激光切割的過(guò)程中,需要進(jìn)行精準(zhǔn)定位,以此來(lái)保證能在晶圓上沿著正確的輪廓開(kāi)出溝槽,通常由切割槽的深度和寬度來(lái)衡量晶圓分割的質(zhì)量。VT6000系列共聚焦顯微鏡,其以共聚焦技術(shù)為原理,配合高速掃描模塊,專業(yè)的分析軟件具有多區(qū)域、自動(dòng)測(cè)量功能,能夠快速重建出被測(cè)晶圓激光鐳射槽的三維輪廓并進(jìn)行多剖面分析,獲取截面的槽道深度與寬度信息。
VT6000系列3D激光測(cè)量共聚焦顯微鏡產(chǎn)品功能:
1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;
2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量;
3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能;
4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;
型號(hào):VT6100
測(cè)量原理:共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
光源:白光LED
行程范圍:100*100*100mm
視場(chǎng)范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測(cè)量重復(fù)性(1σ):12nm
高度測(cè)量精度:± (0.2+L/100) μm
高度測(cè)量分辨率:0.5nm
寬度測(cè)量重復(fù)性(1σ):40nm
寬度測(cè)量精度:± 2%
寬度測(cè)量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
儀器重量:50kg
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