簡要描述:SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
SJ6000高性能激光干涉儀采用氦氖激光器作為光源。其精度高,抗干擾能力強(qiáng),空氣湍流、熱波動等影響甚微,因此降低了對環(huán)境條件的要求,使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室,還可在車間條件下測量大距離用,是高精度線性位移測量儀器。
進(jìn)行線性測量的一般步驟
(1)安裝設(shè)置激光干涉儀
(2)將激光束與被測量的軸校準(zhǔn)
(3)啟動測量軟件,并輸入相關(guān)參數(shù)(如材料膨脹系數(shù))。
(4)在機(jī)床上輸入測量程序,啟動干涉儀測量,并記錄數(shù)據(jù)。
(5)用測量軟件分析測量數(shù)據(jù),生產(chǎn)補(bǔ)償文件。
光束快速準(zhǔn)直步驟
(1)沿著運(yùn)動軸將反射鏡與干涉鏡分開。
(2)移動機(jī)床工作臺,當(dāng)光束離開光靶外圓時停止移動。
垂直光束調(diào)整
(3)使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。
(4)使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪使激光頭上下旋轉(zhuǎn),直到兩道光束都擊中光靶中心。
水平光束調(diào)整
(5)用三腳架左后方的小旋鈕,調(diào)整激光頭的角度偏轉(zhuǎn),使兩道光束彼此重疊。
(6)用三腳架左邊中間的大旋鈕,調(diào)整激光頭的水平位置,使兩道光束擊中光靶的中心。
(7)沿著運(yùn)動軸重新開始移動機(jī)床工作臺。在看到光束移開光靶時再次停止。重復(fù)步驟3到6,直到完成整個軸向的光鏡準(zhǔn)直。
(8)達(dá)到軸的末端時,將機(jī)床移回,使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注:若其中一道光束離開光閘的光靶,是由于反光鏡側(cè)向偏移所造成。上下左右移動反光鏡,使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。
重復(fù)步驟1到8,直到兩道光束在整個運(yùn)動軸長度范圍內(nèi)都保持在光靶的中心。
(9)保持光束和測量軸準(zhǔn)直。將光閘旋轉(zhuǎn)到其測量位置。當(dāng)反光鏡沿著機(jī)床的整個運(yùn)動長度移動時,檢查線性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示的信號強(qiáng)度。
SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
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