簡要描述:SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
---|---|---|---|
加工定制 | 否 |
SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),具有高精度、高重復(fù)性特點(diǎn)。一體化操作的測量分析軟件,以及集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
儀器分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
1.將樣品放置在載物臺(tái)鏡頭下方;
2.檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài);
3.使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸,找到樣品表面干涉條紋;
4.微調(diào)XY軸,找到待測區(qū)域,并重新找到干涉條紋;
5.完成掃描設(shè)置和命名等操作;
6.點(diǎn)擊開始測量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會(huì));
7.臺(tái)階樣品分析第一步:校平;
8.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“校平"圖標(biāo),和平面樣品不同,臺(tái)階樣品需手動(dòng)選取基準(zhǔn)區(qū)域,選好基準(zhǔn)區(qū)域后,先“全部排除"再“包括";
9.若樣品表面有好幾處區(qū)域均為平面且高度一致,可多選擇幾個(gè)區(qū)域作為基準(zhǔn)面進(jìn)行校平;
10.臺(tái)階高度測量:線臺(tái)階高度測量
11.進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“臺(tái)階高度"圖標(biāo),即可直接獲取自動(dòng)檢測狀態(tài)下的面臺(tái)階高度相關(guān)數(shù)據(jù);
12.在右側(cè)點(diǎn)擊“手動(dòng)檢測",根據(jù)需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區(qū)域,數(shù)據(jù)欄可直接讀取兩個(gè)區(qū)域的面臺(tái)階高度數(shù)值;
13.臺(tái)階高度測量:線臺(tái)階高度測量
14.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“提取剖面"圖標(biāo),使用合適方向的剖面線,提取目標(biāo)位置的剖面輪廓曲線;
15.進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“臺(tái)階高度"圖標(biāo),由于所測為中間凹槽到兩側(cè)平面高度,因此點(diǎn)擊右側(cè)工具欄,測量條對數(shù)選擇“2",將紅色基準(zhǔn)線對放置到凹槽平面中間,兩對測量線對分別放置在兩側(cè)平面,即可在數(shù)據(jù)纜讀取臺(tái)階高度數(shù)據(jù)。
SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。
產(chǎn)品咨詢
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)了解更多信息
微信掃一掃