簡(jiǎn)要描述:SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器可以測(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸,XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別,因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細(xì)介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一。在同等放大倍率下,測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域,其它儀器達(dá)不到檢測(cè)的精度要求。中圖儀器SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。
一是非接觸高精密測(cè)量,不會(huì)劃傷甚至破壞工件;
二是測(cè)量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量;
三是不必作探頭半徑補(bǔ)正,光點(diǎn)位置就是工件表面測(cè)量的位置;
四是對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而精確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。
產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱(chēng):光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動(dòng)
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測(cè)樣品反射率:0.05%-100
水平調(diào)整:±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無(wú)損檢測(cè),一鍵分析、測(cè)量速度快
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋?zhuān)焊嘣敿?xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取
SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)的設(shè)計(jì),既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),確保儀器在車(chē)間也能正常工作。
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀可以測(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸,XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別,因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。
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