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3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀；但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1光學3d輪廓儀用于測量精密工件的微納米三維形貌一鍵測量，自動拼接功能能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量。

中圖儀器SuperView W1光學輪廓儀是一款以白光干涉技術(shù)為原理，用于進行亞納米級測量的檢測儀器。對工件表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件的數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面微納米三維形貌的一鍵測量。

3d光學輪廓儀檢測儀器質(zhì)量推薦中圖儀器，可以測量各種工件表面的粗糙度、平面度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況等表面形貌特征進行測量和分析，是可以測量粗糙度的3d光學輪廓儀一體機。提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

中圖儀器的SuperView W1 非接觸3d光學輪廓儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，廣泛應用于3C電子玻璃屏及其精密配件、半導體制造及封裝工藝檢測、汽車零部件、微納材料及制造、光學加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW1-Pro光學三維表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中。

SJ5800國內(nèi)粗糙度輪廓一體測量儀采用超高精度納米衍射光學測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量。