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中圖儀器輪廓儀接觸式測量儀采用超高精度衍射光學測量系統、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能伺服驅動電機、高性能計算機控制系統技術，實現對工件表面粗糙度和輪廓進行高精度測量和分析。測針會自動接觸工件表面，并按設定的位置掃描；可高精度地測量精密加工零部件的粗糙度和輪廓形狀，再選擇所需評價參數即可進行評價。

中圖儀器3d視覺輪廓儀測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

中圖儀器3d輪廓掃描儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

中圖儀器3d光學輪廓儀高精度測量儀在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

SuperVirewW1光學3d表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

中圖SuperViewW1三維光學表面輪廓儀以白光干涉技術為原理，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。